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发明名称 SEMICONDUCTOR TESTING APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 JPH10242225(A) 申请公布日期 1998.09.11
申请号 JP19970040710 申请日期 1997.02.25
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 KOBAYASHI TAKESHI
分类号 G01R31/317;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/317
代理机构 代理人
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