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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH10242440(A) 申请公布日期 1998.09.11
申请号 JP19970045092 申请日期 1997.02.28
申请人 NEC CORP 发明人 HASHIMOTO RYUSUKE
分类号 H01L21/331;H01L21/76;H01L21/762;H01L27/12;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L27/12 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
主权项
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