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发明名称 PACKAGE FOR FAILURE ANALYSIS OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS ANALYZING METHOD
摘要
申请公布号 JPH10239384(A) 申请公布日期 1998.09.11
申请号 JP19970044145 申请日期 1997.02.27
申请人 NEC CORP 发明人 KITAGAWA KENJI
分类号 G01R31/26;G01R31/302;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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