| 发明名称 |
APPAREIL D'IRRADIATION COMBINEE PAR UN FAISCEAU D'IONS ET UN RAYONNEMENT MICRO-ONDE, ET PROCEDE ASSOCIE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2747840(B1) |
申请公布日期 |
1998.09.11 |
| 申请号 |
FR19960005005 |
申请日期 |
1996.04.22 |
| 申请人 |
MOTOROLA SEMICONDUCTEURS SA |
发明人 |
GRIOT DENIS;GAY HENRI CLAUDE;PAGES IRENEE;GIBERT PIERRE;LIN KWANG JACQUES |
| 分类号 |
C23C14/48;H01J37/317;H01J37/32;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265;H01L21/425 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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