发明名称 |
DIFFUSION RESISTANCE FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10242459(A) |
申请公布日期 |
1998.09.11 |
申请号 |
JP19970040776 |
申请日期 |
1997.02.25 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP;MITSUBISHI DENKI SYST LSI DESIGN KK |
发明人 |
HARADA TAKASHI |
分类号 |
H01L29/78;H01L21/8234;H01L27/088;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/823 |
主分类号 |
H01L29/78 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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