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发明名称 LAYOUT ASSISTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH10242286(A) 申请公布日期 1998.09.11
申请号 JP19970054141 申请日期 1997.02.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 FUKUDA MITSUKO;YAMADA NAOYUKI;IE SHINICHIRO
分类号 H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
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