| 发明名称 |
JIG FOR CLEANING AND CLEANING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10242108(A) |
申请公布日期 |
1998.09.11 |
| 申请号 |
JP19970043152 |
申请日期 |
1997.02.27 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD |
发明人 |
MOCHIZUKI HARUMI |
| 分类号 |
B08B11/02;B08B3/08;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B08B11/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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