| 发明名称 |
METHOD OF STABILIZING GAAS LAYER SURFACE, MANUFACTURING GAAS SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR FORMING SEMICONDUCTOR LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10242096(A) |
申请公布日期 |
1998.09.11 |
| 申请号 |
JP19970046378 |
申请日期 |
1997.02.28 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
SHIRAFUJI JUNJI;SUGINO TAKASHI;KOSAKA TAKESHI |
| 分类号 |
H01L21/18;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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