PLASMA REACTOR AND METHOD OF OPERATING THE SAME,申请号EP19950940142-传众专利搜索

发明名称	PLASMA REACTOR AND METHOD OF OPERATING THE SAME
摘要
申请公布号	EP0796505(B1)	申请公布日期	1998.09.09
申请号	EP19950940142	申请日期	1995.12.05
申请人	SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT	发明人	WERNER, CHRISTOPH;BRINKMANN, RALF, PETER
分类号	H05H1/46;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32	主分类号	H05H1/46
代理机构		代理人
主权项
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