晶片处理、传送和半导体制造装置及晶片处理和衬底制法

摘要

支架驱动机构用夹持部分固定晶片支架,并在晶片处理槽内摆动它。当晶片周边部分与摆动支撑部件的顶部接触时,晶片旋转并在晶片支架里垂直运动。晶片能被有效地摆动,能做到均匀处理。通过使用超声槽里的超声波,能够提高处理速率。

主权项

1、一种通过把晶片浸入处理液来处理晶片的晶片处理装置，包括：晶片处理槽；直接或间接固定晶片的固定部分；以及从所述处理槽的上部支撑所述固定部分的驱动部分，以在所述处理槽内摆动所述固定部分。