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发明名称 Method of manufacturing semiconductor device
摘要
申请公布号 GB9815286(D0) 申请公布日期 1998.09.09
申请号 GB19980015286 申请日期 1998.07.14
申请人 NEC CORPORATION 发明人
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/108 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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