具有间接加热阴极的离子源阴极装置

摘要

一种采用本发明的离子源(12)可用于离子掺杂器(10)上。此离子源有一气体密闭腔(76),该腔(76)有围成一气体离化区(R)的导电腔壁(130a、130b、130c、130d、130e、132)。气体密闭腔有一将离子发射出该腔(76)的一发射孔(78)。一基座(80,82,120)将气体密闭腔(76)相对结构(90,14)定位安置,将由气体密闭腔(76)中发射出的离子形成离子束(20)。

主权项

1.一种用于离子掺杂器(10)的离子源(12)，它具有：a)一气体密封腔(76)，它有围成一气体离子化区(R)的腔壁(130a，130b，130c，130d，130e及132)，还有使得离子射出此腔的一射出孔(78)，其特征在于，一个腔壁(130e)上有从一腔壁延伸出的突缘(202)；b)一用于将可离化气体送入该气密封腔中的气体输送系统(122，123，126，128，144)；c)一基座(80，82，120)，用于将该气密封腔(76)支承在对着结构(90，14)位置处，使从所述气密封腔(76)中射出的离子形成一离子束(20)；d)一个相对所述气密封腔(76)的离化区定位安置的阴极(124)，它用以向气密封腔76中离化区发射电离电子，使气体分子离化；e)一具有一大致平的第一表面(200)，安装于气密封腔(76)壁的突缘上的绝缘架(150)，它用以支承所述阴极，使该阴极与气密封腔(76)电气绝缘；f)该阴极包括一导电的阴极体(160，162，164)，该阴极体围成一内部区域并有一外表面，它伸入至气密封腔(76)内，还包括由所述绝缘架支承的丝极(178)，它位于阴极导电体内部，用于使导电体加热，由此而使电离电子从导电体射入气密封腔(76)内。