| 发明名称 |
FORMATION OF PLASMA POLYMERIZED COATING AND DEVICE FOR THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10237663(A) |
申请公布日期 |
1998.09.08 |
| 申请号 |
JP19970366902 |
申请日期 |
1997.12.26 |
| 申请人 |
TDK CORP |
发明人 |
TAKAI MITSURU;MIYAZAKI SHINJI;UEDA KUNIHIRO;KANAZAWA HIROMICHI |
| 分类号 |
C08F2/52;C23C16/50;G11B5/64;G11B5/72;G11B5/84;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C08F2/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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