PLASMA TREATING DEVICE,申请号JP19970058516-传众专利搜索

发明名称	PLASMA TREATING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH10237657(A)	申请公布日期	1998.09.08
申请号	JP19970058516	申请日期	1997.02.26
申请人	FURONTETSUKU:KK;ULVAC JAPAN LTD	发明人	FUKUDA KOICHI;KIN SEITETSU;ARAI SUSUMU;KUROKAWA KUNIAKI
分类号	H05H1/46;C23C16/44;C23C16/458;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C16/44;H01L21/306	主分类号	H05H1/46
代理机构		代理人
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