发明名称 DIAMOND SYNTHESIZING METHOD AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH10236898(A) 申请公布日期 1998.09.08
申请号 JP19970041165 申请日期 1997.02.25
申请人 RITSUMEIKAN 发明人 HANABUSA MITSUGI;OGOSHI MASAYUKI;MIKI HIDEJIRO;MATSUBARA TAKEO
分类号 C30B25/06;C23C14/28;C30B29/04;H01L21/205;(IPC1-7):C30B29/04 主分类号 C30B25/06
代理机构 代理人
主权项
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