发明名称 |
DIAMOND SYNTHESIZING METHOD AND DEVICE THEREFOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10236898(A) |
申请公布日期 |
1998.09.08 |
申请号 |
JP19970041165 |
申请日期 |
1997.02.25 |
申请人 |
RITSUMEIKAN |
发明人 |
HANABUSA MITSUGI;OGOSHI MASAYUKI;MIKI HIDEJIRO;MATSUBARA TAKEO |
分类号 |
C30B25/06;C23C14/28;C30B29/04;H01L21/205;(IPC1-7):C30B29/04 |
主分类号 |
C30B25/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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