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发明名称 PART CLEANING
摘要
申请公布号 JPH10233381(A) 申请公布日期 1998.09.02
申请号 JP19970037479 申请日期 1997.02.21
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 TSUTSUMI TAKASHI;SADO NAOHIKO
分类号 B08B3/08;C11D1/66;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
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