| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10233369(A) |
申请公布日期 |
1998.09.02 |
| 申请号 |
JP19970034529 |
申请日期 |
1997.02.19 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
SUZUKI ATSUSHI;KIMURA HIDEKI |
| 分类号 |
H01L21/22;H01L21/225;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/225 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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