发明名称 |
Method for fabricating a compound semiconductor thin film on dielectric thin film |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2295271(B) |
申请公布日期 |
1998.09.02 |
申请号 |
GB19940024423 |
申请日期 |
1994.12.02 |
申请人 |
* ELECTRONICS AND TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE |
发明人 |
BUN * LEE;MEE-YOUNG * YOON;JONG-HYEOB * BAEK |
分类号 |
C30B29/42;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/316;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
C30B29/42 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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