发明名称 Method for fabricating a compound semiconductor thin film on dielectric thin film
摘要
申请公布号 GB2295271(B) 申请公布日期 1998.09.02
申请号 GB19940024423 申请日期 1994.12.02
申请人 * ELECTRONICS AND TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE 发明人 BUN * LEE;MEE-YOUNG * YOON;JONG-HYEOB * BAEK
分类号 C30B29/42;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/316;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 C30B29/42
代理机构 代理人
主权项
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