| 发明名称 |
HIGH-FREQUENCY VIBRATION SPRAY NOZZLE FOR THIN-FILM MANUFACTURING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10230193(A) |
申请公布日期 |
1998.09.02 |
| 申请号 |
JP19970033534 |
申请日期 |
1997.02.18 |
| 申请人 |
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL |
发明人 |
MORIYA TETSUO;HIRAGA TAKASHI;KONISHI KUMEZO |
| 分类号 |
B05B1/32;C23C14/24;(IPC1-7):B05B1/32 |
主分类号 |
B05B1/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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