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发明名称 MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10233451(A) 申请公布日期 1998.09.02
申请号 JP19970037459 申请日期 1997.02.21
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OTAKE FUMIO
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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