发明名称 | 漂洗溶液 | ||
摘要 | 本发明涉及含有水溶性有机溶剂和水的均匀溶液的石版印刷术的漂洗溶液。优选的水溶性有机溶剂的实例是丙二醇单乙基醚和丙二醇单甲基醚乙酸酯的混合物、丙二醇单甲基醚和丙二醇单甲基醚乙酸酯的混合物和乳酸乙酯、该漂洗溶液用于从基底如集成电路元件、滤色器、液晶显示器元件等中的基底或从抗蚀剂涂覆设备中溶解掉或除去固化或未固化的、不需要的抗蚀剂、抗反射涂层等。 | ||
申请公布号 | CN1191891A | 申请公布日期 | 1998.09.02 |
申请号 | CN97125720.5 | 申请日期 | 1997.12.26 |
申请人 | 克拉瑞特国际有限公司 | 发明人 | 山元研二;井川昭彦 |
分类号 | C11D7/50;H01L21/00;H05K3/26;B41N1/02 | 主分类号 | C11D7/50 |
代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 文琦 |
主权项 | 1.一种石版印刷术的漂洗溶液,它是水溶性有机溶剂和水的均匀溶液。 | ||
地址 | 瑞士穆滕茨 |