发明名称 WASHER
摘要
申请公布号 JPH10230227(A) 申请公布日期 1998.09.02
申请号 JP19970035104 申请日期 1997.02.19
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 MOTODA KIMIO;OTA YOSHIHARU;UCHIHIRA NORIO;TATEYAMA KIYOHISA
分类号 G02F1/13;B08B1/00;B08B1/04;B08B3/04;B08B11/02;G11B23/50;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):B08B1/04 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
地址