发明名称 Transport module with latching door
摘要
申请公布号 GB9814518(D0) 申请公布日期 1998.09.02
申请号 GB19980014518 申请日期 1998.07.03
申请人 FLUOROWARE INC 发明人
分类号 B65D51/26;B65D6/40;B65D85/86;B65G49/07;H01L21/673 主分类号 B65D51/26
代理机构 代理人
主权项
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