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发明名称 LASER DURABILITY ESTIMATING METHOD
摘要
申请公布号 JPH10232197(A) 申请公布日期 1998.09.02
申请号 JP19970034705 申请日期 1997.02.19
申请人 NIKON CORP 发明人 OSHIKAWA SATORU
分类号 G01N21/00;G01M11/00;G01N17/00;G01N21/17;(IPC1-7):G01N21/00 主分类号 G01N21/00
代理机构 代理人
主权项
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