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发明名称 LSI TEST DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10232267(A) 申请公布日期 1998.09.02
申请号 JP19970035935 申请日期 1997.02.20
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 TOYAMA AKIRA;SHIMIZU KAZUHIRO
分类号 G01R31/28;G01R31/3183;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
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