| 发明名称 |
MAGNETIC EXCITATION PLASMA CHAMBER PROVIDED WITH NONUNIFORM MAGNETIC FIELD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10233390(A) |
申请公布日期 |
1998.09.02 |
| 申请号 |
JP19970360401 |
申请日期 |
1997.12.26 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
SHAN HONGCHING;LINDLEY ROGER;BJORKMAN CLAES;QIAN XUE YU;PLAVIDAL RICHARD;PU BRYAN;DING JI;LI ZONGYU;KE KUANG-HAN;WELCH MICHAEL |
| 分类号 |
H05H1/46;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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