半导体器件检测装置

摘要

本发明提供一种半导体器件检测装置,当更换检测插座14时,可把新检测插座的位置精确地存于X－Y传输装置中。设置控制器30,将其配置为使之能把X－Y传输装置的X驱动装置17和Y轴驱动装置18设定于自然状态中,其中X驱动装置和Y驱动装置17,18能手动自由移动,X－Y传输装置可使抓住IC的真空拾取头11在测试时沿X－Y方向移动;只驱动用于降低真空拾取头的Z轴驱动装置15,使真空拾取头的定位孔26与新检测插座的定位销相啮合,同时使X－Y驱动装置保持在自然状态;校正定位孔26与定位销之间的啮合间隙,从而使其轴向对准;并将新检测插座的位置校正信息存入X和Y驱动装置17和18中。

主权项

1.一种采用半导体器件传输和操作装置的半导体器件检测装置，包括用于抓住半导体器件的装载头，用于使所述装载头在水平平面中沿X-Y方向移动的X-Y传输装置，所述X-Y传输装置包括X-Y驱动装置和用于降低所述装载头的Z轴驱动装置，当所述装载头用所述X-Y传输装置传输到所述检测插座上方的位置时，使被所述装载头抓住的半导体器件与检测插座接触，所述半导体器件检测装置被配置为：对由所述装载头抓住的半导体器件朝向检测插座定向，以便用设置在所述装载头和所述检测插座上的第1和第2协同动作的定向装置使半导体器件与所述检测插座精确地接触。所述检测装置的特征在于控制装置：其中包括：用于设定使所述装载头以自然状态沿X-Y方向移动的所述X-Y驱动装置的设定装置，其中，所述X-Y驱动装置可手动自由移动；只驱动所述Z轴驱动装置的装置，用于降低所述承载头，以使设置在所述装载头和所述检测插座上的第1和第2定向装置相互啮合，同时使所述X-Y驱动装置保持在自然状态中；所述第1和第2定向装置之间的啮合校正装置，以便这些装置能相互轴向对准；和存储装置，用于把控制X-Y驱动装置的所述检测插座的校正位置信息存储于其中。