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发明名称 WAFER HANDLING SYSTEM WITH BERNOULLI PICK-UP
摘要
申请公布号 EP0419461(B1) 申请公布日期 1998.09.02
申请号 EP19880906447 申请日期 1988.06.17
申请人 ADVANCED SEMICONDUCTOR MATERIALS AMERICA, INC. 发明人 GOODWIN, DENNIS, L.;CRABB, RICHARD;ROBINSON, MCDONALD;FERRO, ARMAND, P.
分类号 C23C14/56;B25J9/10;B25J19/00;B25J21/00;C23C16/44;H01J37/20;H01J37/317;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/265;H01L21/285;H01L21/677;H01L21/683;(IPC1-7):H01J37/20 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
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