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发明名称 Waferhaltevorrichtung
摘要
申请公布号 DE29811489(U1) 申请公布日期 1998.08.27
申请号 DE19982011489U 申请日期 1998.06.26
申请人 INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE, CHUTUNG, HSINCHU, TW 发明人
分类号 H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/68;B65D85/86 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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