发明名称
摘要
申请公布号 JP2791174(B2) 申请公布日期 1998.08.27
申请号 JP19900093153 申请日期 1990.04.10
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK;HITACHI MAIKON SHISUTEMU KK 发明人 SATO RYOHEI;ARAKAWA KATSUHIRO;KANAI KYOSHI;TAKAHASHI TSUTOMU;TAKENAKA TAKATSUGU;IMADA HARUHIKO
分类号 G01N25/00;G01N3/32;G01N19/04;H01L21/60;H05K3/34;(IPC1-7):H05K3/34 主分类号 G01N25/00
代理机构 代理人
主权项
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