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发明名称 Verdampftes Hydrogensilsesquioxan zum Anscheiden eines Überzugs
摘要
申请公布号 DE69226377(D1) 申请公布日期 1998.08.27
申请号 DE1992626377 申请日期 1992.05.12
申请人 DOW CORNING CORP., MIDLAND, MICH., US 发明人 GENTLE, THERESA EILEEN, MIDLAND, MICHIGAN, US
分类号 C01B33/12;B05D7/24;C09D4/00;C09D183/04;C23C16/00;C23C16/27;C23C16/40;H01L21/312;H01L21/316;(IPC1-7):C23C16/40;C01B33/00;C08G77/00 主分类号 C01B33/12
代理机构 代理人
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