Absolutinterferometrisches Meßverfahren sowie dafür geeignete Laserinterferometeranordnung,申请号DE19934314486-传众专利搜索

发明名称	Absolutinterferometrisches Meßverfahren sowie dafür geeignete Laserinterferometeranordnung
摘要
申请公布号	DE4314486(C2)	申请公布日期	1998.08.27
申请号	DE19934314486	申请日期	1993.05.03
申请人	DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH, 83301 TRAUNREUT, DE;FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V., 80636 MUENCHEN, DE	发明人	THIEL, JUERGEN, DIPL.-PHYS., 52074 AACHEN, DE;MICHEL, DIETER, DIPL.-ING. (FH), 83278 TRAUNSTEIN, DE;FRANZ, ANDREAS, DR., 83361 KIENBERG, DE
分类号	G01B9/02;(IPC1-7):G01J9/02;G01B11/14;H01S3/103	主分类号	G01B9/02
代理机构		代理人
主权项
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