发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR IONIC SPUTTERING
摘要
申请公布号 CA813321(A) 申请公布日期 1969.05.20
申请号 CAD813321 申请日期
申请人 LITTON SYSTEMS 发明人 GERALD S. ANDERSON;ROGER M. MOSESON
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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