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发明名称 DETERGENT COMPOSITION FOR MOLD FOR MOLDING SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR CLEANING MOLD THEREWITH
摘要
申请公布号 JPH10226799(A) 申请公布日期 1998.08.25
申请号 JP19970033725 申请日期 1997.02.18
申请人 NITTO DENKO CORP 发明人 TAKASHIMA KOICHI
分类号 C11D7/26;B29C33/72;C11D3/28;C11D7/32;C11D7/44;C11D7/60;C11D11/00;C11D17/04;C11D17/06;H01L21/304;H01L21/56;(IPC1-7):C11D7/44 主分类号 C11D7/26
代理机构 代理人
主权项
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