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发明名称 ION BEAM WORKING MACHINE
摘要
申请公布号 JPH10226881(A) 申请公布日期 1998.08.25
申请号 JP19970033830 申请日期 1997.02.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 ISHIKAWA YASUSHI;OKAWA HIROO;NAKAGAWA YUKIO
分类号 C23C14/48;(IPC1-7):C23C14/48 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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