| 发明名称 |
HEIGHT INSPECTION METHOD AND HEIGHT INSPECTING INSTRUMENT FOR IMPLEMENTING THE SAME |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10227618(A) |
申请公布日期 |
1998.08.25 |
| 申请号 |
JP19970203539 |
申请日期 |
1997.07.29 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
TAKAHASHI FUMIYUKI;TSUKAHARA HIROYUKI;OSHIMA YOSHITAKA;NISHIYAMA YOJI;FUSE TAKASHI |
| 分类号 |
G01B11/02;G01B11/06;H01L21/60;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/02;H01L21/321 |
主分类号 |
G01B11/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
