发明名称 ION IMPLANTATION EQUIPMENT, METHOD FOR CALCULATING AMOUNT OF ION IMPLANTATION BY USING THE EQUIPMENT, AND CONTROLLING METHOD
摘要
申请公布号 JPH10226880(A) 申请公布日期 1998.08.25
申请号 JP19980007358 申请日期 1998.01.19
申请人 EATON CORP 发明人 CHEN HENG GUNG;SUGITANI MICHIRO;SINCLAIR FRANK;BENVENISTE VICTOR M
分类号 C23C14/48;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):C23C14/48 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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