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发明名称 POLISHING AMOUNT MEASURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH10229060(A) 申请公布日期 1998.08.25
申请号 JP19970029342 申请日期 1997.02.13
申请人 NIKON CORP 发明人 SHIONOYA TAKASHI
分类号 G01B11/00;B23Q17/24;B24B49/04;B24B49/12;G01B11/02;G01B11/30;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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