发明名称 SCANNING TYPE PROXIMITY SITE OPTICAL MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH10221353(A) 申请公布日期 1998.08.21
申请号 JP19970031413 申请日期 1997.01.31
申请人 NIKON CORP 发明人 OKADA MASASHI
分类号 G01B21/30;G01N37/00;G01Q60/18;G01Q60/22;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
主权项
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