发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH10223897(A) 申请公布日期 1998.08.21
申请号 JP19970033208 申请日期 1997.01.31
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 TAKUBI ATSUSHI
分类号 H01L21/28;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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