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发明名称
ETCHING METHOD
摘要
申请公布号
JPH10223605(A)
申请公布日期
1998.08.21
申请号
JP19970022782
申请日期
1997.02.05
申请人
KAWASAKI STEEL CORP
发明人
SUZUKI KATSUNORI;KAWAGUCHI FUKUZO
分类号
H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
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