发明名称 DIFFRACTION OPTICAL ELEMENT, OPTICAL INSTRUMENT PROVIDED WITH THE ELEMENT, AND DEVICE MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH10221513(A) 申请公布日期 1998.08.21
申请号 JP19970040011 申请日期 1997.02.07
申请人 CANON INC 发明人 OGUSU MAKOTO;KATO HIDEO
分类号 G02B5/18;(IPC1-7):G02B5/18 主分类号 G02B5/18
代理机构 代理人
主权项
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