| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR MEASURING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10221417(A) |
申请公布日期 |
1998.08.21 |
| 申请号 |
JP19970018863 |
申请日期 |
1997.01.31 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD |
发明人 |
NAKAJIMA KATSUYUKI;NOMURA KAZUTO |
| 分类号 |
G01R31/319;(IPC1-7):G01R31/319 |
主分类号 |
G01R31/319 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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