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发明名称 MANUFACTURING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10223563(A) 申请公布日期 1998.08.21
申请号 JP19970024949 申请日期 1997.02.07
申请人 NEC CORP 发明人 OOTO KOICHI
分类号 C23C16/34;H01L21/285;H01L21/324;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
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