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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10223608(A) 申请公布日期 1998.08.21
申请号 JP19970021632 申请日期 1997.02.04
申请人 SONY CORP 发明人 YANAGIDA TOSHIHARU
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/321 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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