| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR CLEANING SUBSTRATE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10223597(A) |
申请公布日期 |
1998.08.21 |
| 申请号 |
JP19970026331 |
申请日期 |
1997.02.10 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
NISHIMURA JOICHI;MORITA AKIHIKO;KAGEYAMA TAKAHIRO |
| 分类号 |
B08B1/04;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B08B1/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
