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发明名称 ASPHERICAL SHAPE MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10221030(A) 申请公布日期 1998.08.21
申请号 JP19970020307 申请日期 1997.02.03
申请人 NIKON CORP 发明人 ICHIKAWA HAJIME;MIZOROKE SHIGEO
分类号 G01B9/02;G01B11/24;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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