发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH10223560(A) 申请公布日期 1998.08.21
申请号 JP19970023470 申请日期 1997.02.06
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 SATO AKIRA;YOKOYAMA NATSUKI;KONO MASAKAZU;YUYAMA YOSHIAKI;OBATA KATSUNORI
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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