| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10223881(A) |
申请公布日期 |
1998.08.21 |
| 申请号 |
JP19970026765 |
申请日期 |
1997.02.10 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
OGAWA TOSHIHIRO;HOKARI YASUAKI |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/339;H01L27/148;H01L29/423;H01L29/762;H01L29/78;H01L31/0224;(IPC1-7):H01L29/762 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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