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发明名称 SELECTIVE REMOVAL OF TIXNY
摘要
申请公布号 JPH10223617(A) 申请公布日期 1998.08.21
申请号 JP19970370076 申请日期 1997.12.19
申请人 TEXAS INSTR INC <TI> 发明人 ROTONDARO ANTONIO L P
分类号 H01L21/302;C23G5/00;H01L21/225;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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